南大光電：擬投建68噸半導(dǎo)體先進(jìn)制程用硅前驅(qū)體材料
2023-11-03 11:43
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作者：牟星子
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11月1日，南大光電半導(dǎo)體材料有限公司年產(chǎn)68噸半導(dǎo)體先進(jìn)制程用硅前驅(qū)體材料項(xiàng)目受理公示。為著力加快金屬前驅(qū)體、硅前驅(qū)體新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)及產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，推動(dòng)關(guān)鍵原材料自主可控，南大光電半導(dǎo)體材料有限公司投資12000萬(wàn)元，于滁州市全椒縣十譚產(chǎn)業(yè)園化工集中區(qū)南大光電半導(dǎo)體材料有限公司內(nèi)投建68噸半導(dǎo)體先進(jìn)制程用硅前驅(qū)體材料。項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模：一期：建設(shè)雙（二乙基胺基）硅烷…
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